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GB/T 1551-2009 硅單晶電阻率測定方法

發布時間: 2021-12-23 13:09:45 點擊: 1396

GB/T 1551-2009 硅單晶電阻率測定方法

FT-300TZ兩探針電阻率測試儀 

一、功能介紹:

適用于半導體材料企業、科研、高等院校及實驗室分析半導體材料縱向電阻率可測量橫截面積均勻的圓形、方形或矩形硅單晶的電阻率,試樣長度與截面尺寸之比應不小于3:1;配置測量平臺,正反向電流測量模式;液晶顯示,并帶有溫度補償功能,電阻率單位自動選擇,可選購PC軟件實時數據和報表管理;提供中文或英文兩種語言操作界面選擇.

.參照標準:

GB/T 1551-2009 硅單晶電阻率測定方法-方法2直流兩探針法;

SEMI MF 397-1106<<硅棒電阻率測定兩探針法>>


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