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GB/T 1551-2021硅單晶電阻率的測(cè)定 直排四探針法和直流兩探針法

發(fā)布時(shí)間: 2023-08-23 11:20:18 點(diǎn)擊: 515

GB/T 1551-2021硅單晶電阻率的測(cè)定 直排四探針法和直流兩探針法
GB/T 1551-2021《硅單晶電阻率的測(cè)定 直排四探針法和直流兩探針法》是一個(gè)標(biāo)準(zhǔn),它規(guī)定了使用直排四探針法和直流兩探針法測(cè)定硅單晶電阻率的測(cè)試方法。

直排四探針法適用于測(cè)試電阻率為0.01Ω·cm到1000Ω·cm的硅單晶,而直流兩探針法適用于測(cè)試電阻率為10-4Ω·cm到100Ω·cm的硅單晶。

以下是該標(biāo)準(zhǔn)的主要內(nèi)容:

范圍:該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用直排四探針法和直流兩探針法測(cè)定硅單晶電阻率的測(cè)試方法。
術(shù)語和定義:該標(biāo)準(zhǔn)給出了電阻率、硅單晶、直排四探針法、直流兩探針法等術(shù)語和定義。
測(cè)試原理:該標(biāo)準(zhǔn)分別介紹了直排四探針法和直流兩探針法的測(cè)試原理。
測(cè)試環(huán)境:該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了測(cè)試環(huán)境的溫度和濕度要求。
干擾因素:該標(biāo)準(zhǔn)分別說明了直排四探針法和直流兩探針法測(cè)試時(shí)可能受到的干擾因素及其影響。
試劑和材料:該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了測(cè)試所需的試劑和材料,包括探針、導(dǎo)線、電阻率測(cè)量?jī)x等。
測(cè)試步驟:該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)描述了直排四探針法和直流兩探針法的測(cè)試步驟,包括樣品的準(zhǔn)備、測(cè)試環(huán)境的控制、探針的連接、電阻率的測(cè)量和數(shù)據(jù)處理等。
測(cè)試結(jié)果處理:該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了測(cè)試結(jié)果的處理方法,包括數(shù)據(jù)的記錄、計(jì)算和誤差分析等。
需要注意的是,使用該標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)試時(shí),應(yīng)按照標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的操作步驟進(jìn)行,并使用合適的設(shè)備和試劑,以確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。此外,對(duì)于不同類型和規(guī)格的硅單晶,應(yīng)根據(jù)實(shí)際情況選擇合適的測(cè)試方法。